測(cè)量原理

帶硅微機(jī)械的熱導(dǎo)傳感原理

測(cè)量范圍

H₂ :  0-5%, 0-10%, 0-20%, 0-30%, 0-50%, 0-80%, 0-100%

He :  0-5%, 0-10%, 0-20%, 0-30%, 0-50%, 0-80%, 0-100%

Xe :  0-5%, 0-10%, 0-20%, 0-30%, 0-50%, 0-80%, 0-100%

 (熱導(dǎo)原理可在氮?dú)?空氣或氬氣為背景氣中測(cè)量)

SF6傳感器AGM 22機(jī)械尺寸

PCB 160 x 100mm, 高 40mm

重量

較大 800g

管徑

3mm ID

反應(yīng)時(shí)間

6. . . 45s, 與所使用傳感元件, 流量, 管長(zhǎng)度, 數(shù)字時(shí)間量

精度

滿(mǎn)量程 2% FS

穩(wěn)定性

滿(mǎn)量程 2% FS ( 12個(gè)月以上)

重復(fù)精度

0.2% （零點(diǎn)時(shí)）, 1% （樣氣時(shí)）

較低檢測(cè)值

<滿(mǎn)量程1% FS

線(xiàn)形誤差

<滿(mǎn)量程2% FS

溫度特性

滿(mǎn)量程 1% FS/10^O Kelvin （零點(diǎn)）, 2% FS/10^O Kelvin （標(biāo)氣）

溫控加熱器

55^O C ± 5^O C, 選配

壓力特性

0% （零點(diǎn)）, < 2% FS/10 mbar （標(biāo)氣）(無(wú)壓力補(bǔ)償時(shí))

壓力補(bǔ)償

< 0.2% FS/10mbar （標(biāo)氣）(補(bǔ)償?shù)?00. . . 1200 mbar), 選配

狀態(tài)/故障控制

雙色LED顯示

狀態(tài)/故障輸出

5V HCMOS on 34-Pin 連接器